為深入貫徹黨的二十大“加快實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略，要加強(qiáng)企業(yè)主導(dǎo)的產(chǎn)學(xué)研深度融合，強(qiáng)化目標(biāo)導(dǎo)向，提高科技成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化水平”精神，全面落實(shí)成都市委“科技成果轉(zhuǎn)化要有力有效”決策部署，將成都高新區(qū)打造具有全國(guó)影響力的創(chuàng)新成果中試首選地、創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)引領(lǐng)高質(zhì)量發(fā)展示范區(qū)，成都高新區(qū)科技創(chuàng)新局深入走訪、全面摸排區(qū)內(nèi)具備中試功能的公共技術(shù)平臺(tái)和先進(jìn)制造企業(yè)，宣傳“中試十條”政策，特別是引導(dǎo)鼓勵(lì)企業(yè)平臺(tái)對(duì)外提供中試服務(wù)，并以“樣品生產(chǎn)”和“對(duì)外服務(wù)”為金標(biāo)準(zhǔn)，經(jīng)過企業(yè)申報(bào)和專家評(píng)審，認(rèn)定了電子信息、生物醫(yī)藥兩個(gè)方向的首批21家中試平臺(tái)。
功率半導(dǎo)體檢測(cè)中試平臺(tái)
中試平臺(tái)及建設(shè)主體：功率半導(dǎo)體檢測(cè)中試平臺(tái)，由成都復(fù)錦功率半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展有限公司依托“岷山行動(dòng)”計(jì)劃首批揭榜項(xiàng)目“成都岷山功率半導(dǎo)體技術(shù)研究院”建設(shè)。
平臺(tái)團(tuán)隊(duì)情況：平臺(tái)由前臺(tái)積電高管張帥博士，前軟銀資本高管、現(xiàn)成都矽能科技有限公司總經(jīng)理白杰，以及功率半導(dǎo)體著名專家、電子科技大學(xué)張波教授領(lǐng)銜管理運(yùn)營(yíng)，提供技術(shù)支持。
平臺(tái)中試服務(wù)內(nèi)容：功率半導(dǎo)體中試平臺(tái)由可靠性測(cè)試及失效分析聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室、PSTI-ADT切割聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室組成。平臺(tái)為第三代半導(dǎo)體和傳統(tǒng)材料提供切割、可靠性測(cè)試、失效分析等技術(shù)服務(wù)。
可靠性測(cè)試及失效分析聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室：位于高新西區(qū)，以先進(jìn)的測(cè)試儀器為核心，并結(jié)合研究院數(shù)十位專家團(tuán)隊(duì)的豐富經(jīng)驗(yàn)，其中包括多位擁有10年以上可靠性測(cè)試及失效分析經(jīng)驗(yàn)的資深專家，以專業(yè)的技術(shù)服務(wù)面，覆蓋傳統(tǒng)硅基器件到三代半功率器件，高壓到低壓，器件到模塊，提供高效且全面的特性測(cè)試和表征，致力縮短測(cè)試出貨前的質(zhì)量驗(yàn)證陣痛期，為客戶嚴(yán)謹(jǐn)把關(guān)產(chǎn)品質(zhì)量。
可靠性測(cè)試方面，實(shí)驗(yàn)室結(jié)合軍規(guī)(MIL-STD)、車規(guī)(AEC)、工規(guī)/商規(guī)(JEDEC)等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)與客戶需求，提供相關(guān)檢測(cè)項(xiàng)目。
主要設(shè)備包括：高溫反偏試驗(yàn)箱（HTRB）、高溫柵偏試驗(yàn)箱（HTGB）、高溫高濕試驗(yàn)箱（H3TRB）、功率循環(huán)試驗(yàn)箱（IOL）、高加速壽命試驗(yàn)箱（HAST）、溫度循環(huán)試驗(yàn)箱（TC）、無鉛回流焊（IR-Reflow）等。能進(jìn)行環(huán)境（高低溫）模擬試驗(yàn)、電老煉試驗(yàn)、加速壽命試驗(yàn)、引線拉力測(cè)試、振動(dòng)試驗(yàn)、可焊性、ESD測(cè)試等測(cè)試項(xiàng)目。
在產(chǎn)品測(cè)試之后，實(shí)驗(yàn)室還可根據(jù)客戶要求，提供從電性檢測(cè)、有損/無損分析、失效驗(yàn)證、報(bào)告出具的全套失效分析解決方案，也能進(jìn)行定制化失效分析服務(wù)，最終協(xié)助客戶準(zhǔn)確地找出產(chǎn)品失效點(diǎn)位。
主要項(xiàng)目包括：光學(xué)電子顯微鏡(OM)、X射線檢測(cè)(X-Ray)、超聲波掃描(SAM)、IV曲線跟蹤儀、激光開封、化學(xué)開封、金屬去層、PN結(jié)染色、探針臺(tái)、液晶定位、截面研磨等。
PSTI-ADT切割聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室：位于高新西區(qū)，由成都岷山功率半導(dǎo)體技術(shù)研究院和先進(jìn)微電子裝備(鄭州)有限公司(ADT)共同組建，面向西南地區(qū)的廣大半導(dǎo)體設(shè)計(jì)公司以及高校服務(wù)，旨在打造一個(gè)西南地區(qū)覆蓋多種材料、工藝、數(shù)量需求的全方位切割平臺(tái)，為市場(chǎng)提供即時(shí)的、可靠的、專業(yè)的切割服務(wù)。
實(shí)驗(yàn)室技術(shù)團(tuán)隊(duì)出眾，其中實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人在INTEL等行業(yè)龍頭公司切割領(lǐng)域工作多年，有豐富半導(dǎo)體切割經(jīng)驗(yàn)。
實(shí)驗(yàn)室設(shè)備設(shè)施完備。目前實(shí)驗(yàn)室具備100k的潔凈環(huán)境，配備有貼膜機(jī)、ADT精密切割機(jī)、清洗機(jī)、UV解膠機(jī)、擴(kuò)膜機(jī)等，其中共有3臺(tái)切割設(shè)備，囊括硅、碳化硅、氮化鎵、砷化鎵等市場(chǎng)主流材料，和4寸、6寸、8寸、12寸（外協(xié)）晶圓以及二次切割等市場(chǎng)主流需求。
此外，實(shí)驗(yàn)室預(yù)計(jì)今年還將添置一臺(tái)切割設(shè)備，同時(shí)將引進(jìn)研磨設(shè)備，提供8寸晶圓grinding服務(wù)，以求服務(wù)更高效，覆蓋更廣泛。
研究院還與ADT以色列先進(jìn)切割技術(shù)公司合作，獲得品牌授權(quán)向公司及公司的客戶提供相應(yīng)切割技術(shù)、工藝流程、售后服務(wù)以及人員培訓(xùn)等技術(shù)支持。（選送單位：高新區(qū)科技創(chuàng)新局）
